Multiscale Models of CVD Process: Review and Prospective.

Autor:	Tian, Yu1 (AUTHOR), Yan, Zefan2 (AUTHOR), Jiang, Lin1 (AUTHOR), Liu, Rongzheng1 (AUTHOR), Liu, Bing1 (AUTHOR), Shao, Youlin1 (AUTHOR), Yang, Xu1 (AUTHOR), Liu, Malin1 (AUTHOR) liumalin@tsinghua.edu.cn
Zdroj:	Materials (1996-1944). Oct2024, Vol. 17 Issue 20, p5131. 29p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.