8 英寸SiC 晶圆制备与外延应用.

Autor: 韩景瑞1 jingrui12@126.com, 李锡光1 ding.xiongjie@sicty.com, 李咏梅1, 王垚浩2, 张清纯3, 李　达4, 施建新4, 闫鸿磊4, 韩跃斌4, 丁雄杰1
Zdroj: Journal of Synthetic Crystals. Oct2024, Vol. 53 Issue 10, p1712-1719. 8p.
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