Mechanisms of Chemically Promoted Material Removal Examined for Molybdenum and Copper CMP in Weakly Alkaline Citrate-Based Slurries.

Autor:	Gamagedara, K. U.1 (AUTHOR) gamageku@clarkson.edu, Roy, D.1 (AUTHOR) droy@clarkson.edu
Zdroj:	Materials (1996-1944). Oct2024, Vol. 17 Issue 19, p4905. 26p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.