Proposals for Next-Generation Eco-Friendly Non-Flammable Refrigerants for a −100 °C Semiconductor Etching Chiller Based on 4E (Energy, Exergy, Environmental, and Exergoeconomic) Analysis.

Autor:	Jung, Hye-In1 (AUTHOR) sonch@pknu.ac.kr, Son, Chang-Hyo1 (AUTHOR), Lee, Joon-Hyuk1 (AUTHOR) joonhyukcap3@naver.com
Zdroj:	Energies (19961073). Oct2024, Vol. 17 Issue 19, p4969. 22p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.