Development of a MEMS Piezoresistive High-g Accelerometer with a Cross-Center Block Structure and Reliable Electrode.
Autor: | Li, Cun1 (AUTHOR) cun.li@xjtu.edu.cn, Zhang, Ran1 (AUTHOR) zran0612@stu.xjtu.edu.cn, Hao, Le1 (AUTHOR), Zhao, Yulong1 (AUTHOR) |
---|---|
Zdroj: | Sensors (14248220). Sep2024, Vol. 24 Issue 17, p5540. 17p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |