Fabrication of nitrogen-hyperdoped silicon by high-pressure gas immersion excimer laser doping.

Autor:	Barkby, Josh W.1, Moro, Fabrizio2, Perego, Michele3, Taglietti, Fabiana2, Lidorikis, Elefterios4, Kalfagiannis, Nikolaos1,4, Koutsogeorgis, Demosthenes C.1 demosthenes.koutsogeorgis@ntu.ac.uk, Fanciulli, Marco2 marco.fanciulli@unimib.it
Zdroj:	Scientific Reports. 8/23/2024, Vol. 14 Issue 1, p1-15. 15p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.