Comprehensive Review on the Impact of Chemical Composition, Plasma Treatment, and Vacuum Ultraviolet (VUV) Irradiation on the Electrical Properties of Organosilicate Films.

Autor:	Baklanov, Mikhail R.1,2 (AUTHOR) baklanovmr@gmail.com, Gismatulin, Andrei A.3 (AUTHOR) aagismatulin@isp.nsc.ru, Naumov, Sergej4 (AUTHOR) sergej.naumov@iom-leipzig.de, Perevalov, Timofey V.3 (AUTHOR) timson@isp.nsc.ru, Gritsenko, Vladimir A.3,5 (AUTHOR) grits@isp.nsc.ru, Vishnevskiy, Alexey S.1 (AUTHOR) baklanovmr@gmail.com, Rakhimova, Tatyana V.6 (AUTHOR) trakhimova@mics.msu.su, Vorotilov, Konstantin A.1 (AUTHOR)
Zdroj:	Polymers (20734360). Aug2024, Vol. 16 Issue 15, p2230. 47p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.