具有双重显影特性的多用途单分子树脂化学放大光刻胶.

Autor: 苑晓冬1,2, 陈金平1,2 chenjp@mail.ipc.ac.cn, 于天君1, 曾 毅1,2, 李 嫕1,2 yili@mail.ipc.ac.cn
Zdroj: Chinese Journal of Applied Chemistry. Jul2024, Vol. 41 Issue 7, p1024-1034. 11p.
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