Study of Heat Flow at Substrate during Sputtering of Copper–Titanium Sandwich Target.

Autor:	Shapovalov, Viktor I.1 (AUTHOR) vishapovalov@mail.ru, Sharkovskii, Daniil S.1 (AUTHOR)
Zdroj:	Materials (1996-1944). Jul2024, Vol. 17 Issue 14, p3599. 14p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.