A new 915 MHz coaxial-line-based microwave plasma source.
Autor: | Miotk, Robert1 (AUTHOR) rmiotk@imp.gda.pl, Mizeraczyk, Jerzy2 (AUTHOR), Jasiński, Mariusz1 (AUTHOR) |
---|---|
Zdroj: | Scientific Reports. 7/5/2024, Vol. 14 Issue 1, p1-17. 17p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |