ДОСЛІДЖЕННЯ ПЛІВОК SiC, ОТРИМАНИХ НА ПІДКЛАДИНЦІ porous-Si/Si.
| Autor: | Кідалов, В. В.1,2, Дяденчук, А. Ф.1 alena.dyadenchuk@tsatu.edu.ua, Жук, А. Г.3, Гудименко, О. Й.3, Сімченко, С. В.4 |
|---|---|
| Zdroj: | Chemistry, Physics & Technology of Surface / Khimiya, Fizyka ta Tekhnologiya Poverhni. 2024, Vol. 15 Issue 2, p221-229. 9p. |
| Databáze: | Academic Search Ultimate |
| Externí odkaz: |
|