Novel Probability Density Function of Pad Asperity by Wear Effect over Time in Chemical Mechanical Planarization.

Autor:	Jeong, Seonho1 (AUTHOR) shjeong@pusan.ac.kr, Shin, Yeongil1 (AUTHOR), Jeong, Jongmin1 (AUTHOR), Jeong, Seunghun1 (AUTHOR), Jeong, Haedo1 (AUTHOR) hdjeong@pusan.ac.kr
Zdroj:	Materials (1996-1944). Apr2024, Vol. 17 Issue 8, p1817. 14p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.