Three-Dimensional Nano-displacement Measurement by Four-Beam Laser Interferometry.

Autor:	Zhang, Xu1,2,3, Wang, Zi1,2,3, Liu, Mengnan1,2,3, Song, Zhengxun1,2,3, Wang, Zuobin1,2,3,4 1561788492@qq.com, Dong, Litong1,2,3 donglt@cust.edu.cn
Zdroj:	Nanomanufacturing & Metrology. 4/12/2024, Vol. 7 Issue 1, p1-8. 8p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.