Comparative Study of the Thermal Stability of Be-Based Extreme Ultraviolet Pellicles.

Autor:	Zuev, S. Yu.1 (AUTHOR), Lopatin, A. Ya.1 (AUTHOR), Luchin, V. I.1 (AUTHOR), Salashchenko, N. N.1 (AUTHOR), Tatarskiy, D. A.1 (AUTHOR), Tsybin, N. N.1 (AUTHOR) tsybin@ipmras.ru, Chkhalo, N. I.1 (AUTHOR)
Zdroj:	Technical Physics. 2023 Suppl 3, Vol. 68, pS630-S636. 7p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.