Growth of Thick ε(κ)-Ga2O3 Films by Halide Vapor Phase Epitaxy.
Autor: | Stepanov, S. I.1 (AUTHOR) s.i.stepanov@gmail.com, Pechnikov, A. I.1 (AUTHOR), Scheglov, M. P.1 (AUTHOR), Chikiryaka, A. V.1 (AUTHOR), Nikolaev, V. I.1 (AUTHOR) |
---|---|
Zdroj: | Technical Physics Letters. 2023 Suppl 2, Vol. 49, pS142-S145. 4p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |