Crystallization and Silicon Carbide Formation in Two-Layer Amorphous Silicon–Carbon Films during Electron Irradiation.

Autor:	Sidorov, A. I.1 (AUTHOR) sidorov@oi.ifmo.ru, Leks, E. Ya.2 (AUTHOR), Podsvirov, O. A.2 (AUTHOR), Vinogradov, A. Yu.3 (AUTHOR)
Zdroj:	Technical Physics. 2023 Suppl 1, Vol. 68, pS115-S119. 5p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.