High Sensitivity of Halide Vapor Phase Epitaxy Grown Indium Oxide Films to Ammonia.

Autor:	Almaev, D. A.1 (AUTHOR) almaev001@mail.ru, Almaev, A. V.1,2 (AUTHOR), Nikolaev, V. I.3,4 (AUTHOR), Butenko, P. N.1,3 (AUTHOR), Scheglov, M. P.3 (AUTHOR), Chikiryaka, A. V.3 (AUTHOR), Pechnikov, A. I.3 (AUTHOR)
Zdroj:	Semiconductors. Dec2023, Vol. 57 Issue 13, p579-586. 8p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.