Michaelis–Menten kinetics during dry etching processes.

Autor:	Knizikevičius, Rimantas1 (AUTHOR) Rimantas.Knizikevicius@ktu.lt
Zdroj:	PLoS ONE. 3/1/2024, Vol. 19 Issue 2, p1-13. 13p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.