超声振动辅助抛光氮化镓分子动力学仿真分析.

Autor: 夏广1 20205229106@stu.suda.edu.cn, 朱睿1, 王子睿1, 成锋1, 赵栋1, 王永光1 Wangyg@suda.edu.cn
Zdroj: Science Technology & Engineering. 2024, Vol. 24 Issue 3, p986-993. 8p.
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