Fault diagnosis in semiconductor manufacturing processes using a CNN-based generative adversarial network1.

Autor:	Naveen, Palanichamy1 (AUTHOR) naveenamp88@gmail.com., NithyaSai, S.2 (AUTHOR), Udayamoorthy, Venkateshkumar3 (AUTHOR), Ashok kumar, S.R.4 (AUTHOR)
Zdroj:	Journal of Intelligent & Fuzzy Systems. 2024, Vol. 46 Issue 1, p1789-1800. 12p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.