In Situ and Real-Time Monitoring of Doping Levels by Reflectance Anisotropy Spectroscopy (RAS) during Molecular Beam Epitaxial (MBE) Growth of III/V Semiconductors.
Autor: | Fouckhardt, Henning1 (AUTHOR), Richter, Johannes1 (AUTHOR), Doering, Christoph1 (AUTHOR), Strassner, Johannes1 (AUTHOR) |
---|---|
Zdroj: | Advances in Materials Science & Engineering. 12/13/2023, p1-12. 12p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |