Design and Characterization of 5 μm Pitch InGaAs Photodiodes Using In Situ Doping and Shallow Mesa Architecture for SWIR Sensing †.
Autor: | Tillement, Jules1,2,3 (AUTHOR) jules.tillement@st.com, Cervera, Cyril2 (AUTHOR), Baylet, Jacques2 (AUTHOR), Jany, Christophe2 (AUTHOR), Nardelli, François2 (AUTHOR), Di Rito, Thomas2 (AUTHOR), Georges, Sylvain1 (AUTHOR), Mugny, Gabriel1 (AUTHOR), Saxod, Olivier2 (AUTHOR), Gravrand, Olivier2 (AUTHOR), Baron, Thierry3 (AUTHOR), Roy, François1 (AUTHOR), Boeuf, Frédéric1 (AUTHOR) jules.tillement@st.com |
---|---|
Zdroj: | Sensors (14248220). Nov2023, Vol. 23 Issue 22, p9219. 16p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |