Roles of overlapped scratching in grating fabrications assisted by selective wet etching.
Autor: | He, Wang1 (AUTHOR), Lin, Yu1 (AUTHOR), Cui, Licong1 (AUTHOR), Chen, Tingting1 (AUTHOR), Qian, Linmao1 (AUTHOR), Yu, Bingjun1 (AUTHOR) bingjun@swjtu.edu.cn |
---|---|
Zdroj: | Journal of Materials Science. Oct2023, Vol. 58 Issue 40, p15647-15659. 13p. 1 Chart, 7 Graphs. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |