Investigation of the Discharge Chamber Expansion Region Influence on the Electron Density in an Inductively Coupled RF Discharge.

Autor:	Shemakhin, A. Y.1 (AUTHOR), Zheltukhin, V. S.1 (AUTHOR), Kiselev, G. B.1 (AUTHOR), Terentev, T. N.1 (AUTHOR) terentievt@yandex.ru
Zdroj:	High Energy Chemistry. Oct2023 Suppl 1, Vol. 57, pS227-S233. 7p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.