Cryo Plasma Etching of Porous Low-k Dielectrics.

Autor:	Miakonkikh, A. V.1 (AUTHOR) miakonkikh@ftian.ru, Kuzmenko, V. O.1,2 (AUTHOR), Rudenko, K. V.1 (AUTHOR)
Zdroj:	High Energy Chemistry. Oct2023 Suppl 1, Vol. 57, pS115-S118. 4p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.