Characterization and dressing effect of CMP diamond disc conditioner with ordered abrasive distribution.

Autor:	Guo, Zhaozhi1 (AUTHOR), Yang, Songhao1 (AUTHOR), Wen, Zhenhui1 (AUTHOR), Li, Jingyu1 (AUTHOR), Cheng, Jun1 (AUTHOR) jcheng@mail.neu.edu.cn
Zdroj:	International Journal of Advanced Manufacturing Technology. Sep2023, Vol. 128 Issue 3/4, p1029-1048. 20p. 11 Color Photographs, 3 Charts, 9 Graphs.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.