Impact of Pulse Parameters of a DC Power Generator on the Microstructural and Mechanical Properties of Sputtered AlN Film with In-Situ OES Data Analysis.

Autor:	Zhou, Wei-Yu1 (AUTHOR), Chen, Hsuan-Fan1 (AUTHOR), Tseng, Xue-Li1 (AUTHOR), Lo, Hsiao-Han2 (AUTHOR), Wang, Peter J.2 (AUTHOR), Jiang, Ming-Yu2 (AUTHOR), Fuh, Yiin-Kuen1 (AUTHOR) michaelfuh@gmail.com, Li, Tomi T.1 (AUTHOR)
Zdroj:	Materials (1996-1944). Apr2023, Vol. 16 Issue 8, p3015. 18p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.