Synthesis of Acrylate Dual-Tone Resists and the Effect of Their Molecular Weight on Lithography Performance and Mechanism: An Investigation.

Autor:	Liu, Lifei1,2 (AUTHOR), Li, Jintong1 (AUTHOR), Song, Ting1 (AUTHOR), Wu, Rong1 (AUTHOR), Zhao, Weizhen1,2 (AUTHOR) wzzhao@ipe.ac.cn, Huo, Feng1,2,3 (AUTHOR) wzzhao@ipe.ac.cn
Zdroj:	Materials (1996-1944). Mar2023, Vol. 16 Issue 6, p2331. 11p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.