Deep multilevel wet etching of fused silica glass microstructures in BOE solution.

Autor:	Konstantinova, T. G.1,2 (AUTHOR), Andronic, M. M.1 (AUTHOR), Baklykov, D. A.1,2 (AUTHOR), Stukalova, V. E.1 (AUTHOR), Ezenkova, D. A.1,2 (AUTHOR), Zikiy, E. V.1,2 (AUTHOR), Bashinova, M. V.1 (AUTHOR), Solovev, A. A.1 (AUTHOR), Lotkov, E. S.1,2 (AUTHOR), Ryzhikov, I. A.1 (AUTHOR), Rodionov, I. A.1,2 (AUTHOR) irodionov@bmstu.ru
Zdroj:	Scientific Reports. 3/30/2023, Vol. 13 Issue 1, p1-9. 9p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.