The Importance of Taking into Account the Heterogeneous Recombination of Atoms when Studying the Kinetics of Copper Etching in Chlorine Plasma.

Autor:	Sitanov, D. V.1 (AUTHOR) sitanov@isuct.ru, Pivovarenok, S. A.1 (AUTHOR), Murin, D. B.1 (AUTHOR)
Zdroj:	High Temperature. 2022 Suppl2, Vol. 60, pS146-S152. 7p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.