Ablation characteristics on silicon from ultrafast laser radiation containing single MHz and GHz burst pulses.

Autor:	Metzner, Daniel1,2 (AUTHOR) metzner@hs-mittweida.de, Lickschat, Peter1 (AUTHOR), Engel, Andy1 (AUTHOR), Lampke, Thomas2 (AUTHOR), Weißmantel, Steffen1 (AUTHOR)
Zdroj:	Applied Physics A: Materials Science & Processing. Aug2022, Vol. 128 Issue 8, p1-10. 10p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.