Simple and practical methods for utilizing parylene C film based on vertical deposition and laser patterning.
Autor: | Sim, Jee Hoon1 (AUTHOR), Chae, Hyeonwook1 (AUTHOR), Kim, Su-Bon1 (AUTHOR), Yoo, Seunghyup1 (AUTHOR) syoo.ee@kaist.edu |
---|---|
Zdroj: | Scientific Reports. 6/9/2022, Vol. 12 Issue 1, p1-8. 8p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |