Femtosecond Laser Assisted 3D Etching Using Inorganic-Organic Etchant.

Autor: Butkutė, Agnė1,2 (AUTHOR) agne.butkute@femtika.com, Merkininkaitė, Greta1,3 (AUTHOR) simas.sakirzanovas@chf.vu.lt, Jurkšas, Tomas1 (AUTHOR) tomas.baravykas@femtika.com, Stančikas, Jokūbas2 (AUTHOR) valdas.sirutkaitis@ff.vu.lt, Baravykas, Tomas1 (AUTHOR) rokas.vargalis@femtika.com, Vargalis, Rokas1 (AUTHOR) titas.tickunas@femtika.com, Tičkūnas, Titas1 (AUTHOR), Bachmann, Julien4 (AUTHOR) julien.bachmann@fau.de, Šakirzanovas, Simas3 (AUTHOR), Sirutkaitis, Valdas2 (AUTHOR) linas.jonusauskas@ff.vu.lt, Jonušauskas, Linas2 (AUTHOR)
Zdroj: Materials (1996-1944). Apr2022, Vol. 15 Issue 8, pN.PAG-N.PAG. 10p.
Databáze: Academic Search Ultimate
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje