Dependence of Mechanical and Tribological Properties of a-C:H:SiOx Films on the Bias Voltage Amplitude of the Substrate.

Autor:	Grenadyorov, A. S.1 (AUTHOR) 1711Sasha@mail.ru, Solovyev, A. A.1 (AUTHOR), Oskomov, K. V.1 (AUTHOR), Zhulkov, M. O.1,2 (AUTHOR)
Zdroj:	Technical Physics. Oct2021, Vol. 66 Issue 10, p1111-1117. 7p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.