Polymer link breakage of polyimide-film-surface using hydrolysis reaction accelerator for enhancing chemical–mechanical-planarization polishing-rate.

Autor:	Jeong, Gi-Ppeum1 (AUTHOR), Park, Jun-Seong1 (AUTHOR), Lee, Seung-Jae1 (AUTHOR), Kim, Pil-su2 (AUTHOR), Han, Man-Hyup2 (AUTHOR), Hong, Seong-Wan2 (AUTHOR), Kim, Eun-Seong2 (AUTHOR), Park, Jin-Hyung3 (AUTHOR), Choo, Byoung-Kwon4 (AUTHOR), Kang, Seung-Bae4 (AUTHOR), Park, Jea-Gun1,2 (AUTHOR) parkjgL@hanyang.ac.kr
Zdroj:	Scientific Reports. 3/1/2022, Vol. 12 Issue 1, p1-10. 10p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.