Radioactivation Monitoring of the Density of Wear-Resistant AlN and CrN Coatings on Silicon.

Autor:	Ryzhkov, V. A.1 (AUTHOR) ryzhkov@tpu.ru, Tarbokov, V. A.1 (AUTHOR), Smolyanskii, E. A.1 (AUTHOR), Remnev, G. E.1 (AUTHOR)
Zdroj:	Technical Physics Letters. Jul2021, Vol. 47 Issue 7, p524-527. 4p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.