半导体碳化硅湿法腐蚀工艺研究.

Autor: 张序清1,2 zhang_xuqing@zju.edu.cn, 罗 昊1, 李佳君2, 王 蓉2, 杨德仁1,2, 皮孝东1,2 xdpi@zju.edu.cn
Zdroj: Journal of Synthetic Crystals. Feb2022, Vol. 51 Issue 2, p333-343. 11p.
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