Finishing of Rough Sidewalls of a Silicon-on-Insulator Nano-Optical Waveguide Using Laser Surface Melting.

Autor: Peng, Z. L.1 (AUTHOR) pengzhiling@nuc.edu.cn, Zhou, C. G.1 (AUTHOR)
Zdroj: Strength of Materials. Jul2021, Vol. 53 Issue 4, p654-661. 8p.
Databáze: Academic Search Ultimate
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje