A negative tone lift-off method for small metal holes using PMMA/SiO2 double layer.

Autor:	Baek, J S1 (AUTHOR), Lee, D1 (AUTHOR) dleee@cnu.ac.kr
Zdroj:	Bulletin of Materials Science. Dec2021, Vol. 44 Issue 1, p1-10. 10p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.