Heterodyne Standing-Wave Interferometer with Improved Phase Stability.
Autor: | Ortlepp, Ingo1 (AUTHOR) ingo.ortlepp@tu-ilmenau.de, Zöllner, Jens-Peter2 (AUTHOR), Rangelow, Ivo W.3 (AUTHOR), Manske, Eberhard1 (AUTHOR) |
---|---|
Zdroj: | Nanomanufacturing & Metrology. Sep2021, Vol. 4 Issue 3, p190-199. 10p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |