Heterodyne Standing-Wave Interferometer with Improved Phase Stability.

Autor: Ortlepp, Ingo1 (AUTHOR) ingo.ortlepp@tu-ilmenau.de, Zöllner, Jens-Peter2 (AUTHOR), Rangelow, Ivo W.3 (AUTHOR), Manske, Eberhard1 (AUTHOR)
Zdroj: Nanomanufacturing & Metrology. Sep2021, Vol. 4 Issue 3, p190-199. 10p.
Databáze: Academic Search Ultimate
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje