Insight of mechanical and morphological properties of ALD- Al2O3 films in point of structural properties.

Autor:	Nalcaci, Burak1 (AUTHOR) buraknalcaci@gazi.edu.tr, Polat Gonullu, Meryem1 (AUTHOR)
Zdroj:	Applied Physics A: Materials Science & Processing. Jun2021, Vol. 127 Issue 6, p1-10. 10p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.