Design, characterisation and operation of an inverted cylindrical magnetron for metal deposition.

Autor:	Amberg, M.1 (AUTHOR) martin.amberg@empa.ch, Geerk, J.2 (AUTHOR), Keller, M.1 (AUTHOR), Fischer, A.1 (AUTHOR)
Zdroj:	Plasma Devices & Operations. Sep2004, Vol. 12 Issue 3, p175-186. 12p. 1 Black and White Photograph, 1 Diagram, 1 Chart, 8 Graphs.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.