Atomic and Electronic Structure of SiOx Films Obtained with Hydrogen Electron Cyclotron Resonance Plasma.

Autor:	Perevalov, T. V.1,2 (AUTHOR) timson@isp.nsc.ru, Iskhakzai, R. M. Kh.1 (AUTHOR), Aliev, V. Sh.1 (AUTHOR), Gritsenko, V. A.1,2 (AUTHOR), Prosvirin, I. P.3 (AUTHOR)
Zdroj:	Journal of Experimental & Theoretical Physics. 2020, Vol. 131 Issue 6, p940-944. 5p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.