Features of Electromagnetic Field Excitation in a Capacitive HF Discharge. I. General Aspects. A Simple Model of Symmetric Discharge.

Autor:	Dvinin, S. A.1 (AUTHOR) dvinin@phys.msu.ru, Sinkevich, O. A.2 (AUTHOR) oleg.sinkevich@itf.mpei.ac.ru, Kodirzoda, Z. A.3 (AUTHOR), Solikhov, D. K.3 (AUTHOR) davlat56@mail.ru
Zdroj:	Plasma Physics Reports. Dec2020, Vol. 46 Issue 12, p1181-1204. 24p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.