4H‐SiC surface morphology after Al ion implantation and annealing with C‐cap.

Autor:	CANINO, MARICA1 (AUTHOR) canino@bo.imm.cnr.it, FEDELI, PAOLO1 (AUTHOR), ALBONETTI, CRISTIANO2 (AUTHOR), NIPOTI, ROBERTA1 (AUTHOR)
Zdroj:	Journal of Microscopy. Dec2020, Vol. 280 Issue 3, p229-240. 12p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.