High-Quality AlN Layers Grown on Si(111) Substrates by Metalorganic Chemical Vapor Deposition.

Autor:	Ezubchenko, I. S.1 (AUTHOR) ezivan9@gmail.com, Chernykh, M. Ya.1 (AUTHOR), Mayboroda, I. O.1 (AUTHOR), Trun'kin, I. N.1 (AUTHOR), Chernykh, I. A.1 (AUTHOR), Zanaveskin, M. L.1 (AUTHOR)
Zdroj:	Crystallography Reports. Jan2020, Vol. 65 Issue 1, p122-125. 4p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.