A Review on Surface Stress-Based Miniaturized Piezoresistive SU-8 Polymeric Cantilever Sensors.
Autor: | Mathew, Ribu1 (AUTHOR) ribumathew88@gmail.com, Ravi Sankar, A.1 (AUTHOR) a.ravishan@gmail.com |
---|---|
Zdroj: | Nano-Micro Letters. Jun2018, Vol. 10 Issue 2, p1-6. 6p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |