A Review on Surface Stress-Based Miniaturized Piezoresistive SU-8 Polymeric Cantilever Sensors.

Autor: Mathew, Ribu1 (AUTHOR) ribumathew88@gmail.com, Ravi Sankar, A.1 (AUTHOR) a.ravishan@gmail.com
Zdroj: Nano-Micro Letters. Jun2018, Vol. 10 Issue 2, p1-6. 6p.
Databáze: Academic Search Ultimate
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje