An Optical Diffraction Method for Controlling the Solid-Phase Recrystallization and Heating of Implanted Semiconductors during Pulse Light Annealing.

Autor:	Farrakhov, B. F.1 (AUTHOR) bulat_f@mail.ru, Fattakhov, Ya. V.1 (AUTHOR), Galyautdinov, M. F.1 (AUTHOR)
Zdroj:	Instruments & Experimental Techniques. Apr2019, Vol. 62 Issue 2, p226-231. 6p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.