Anodic Oxidation of Hydrogen-Transferred Silicon-on-Insulator Layers.

Autor:	Tyschenko, I. E.1 (AUTHOR) tys@isp.nsc.ru, Popov, I. V.1 (AUTHOR), Spesivtsev, E. V.1 (AUTHOR)
Zdroj:	Semiconductors. Feb2019, Vol. 53 Issue 2, p241-245. 5p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.