The Influence of the Power Supply of a Magnetron Sputtering System on the Properties of the Deposited TiO2 Films.

Autor:	Abramov, N. F.1 nicolas.fotron-auto@mail.ru, Bezrukov, A. V.1, Vol'pyan, O. D.1, Obod, Yu. A.2
Zdroj:	Inorganic Materials. Dec2018, Vol. 54 Issue 15, p1491-1497. 7p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.